実機のファイルシステムを準備します。ダウンロード:MA-S1xx シリーズ から root filesystem のアーカイブをダウンロードします。
ファイルの Permission を保持するため、root 権限でアーカイブを展開しておきます。

user1@mas1xx-devel:~/work$ sudo mkdir mas1xx_focal_rootfs

user1@mas1xx-devel:~/work$ cd mas1xx_focal_rootfs/

user1@mas1xx-devel:~/work/mas1xx_focal_rootfs$ sudo tar axf ../MAS1xx_rootfs_focal_v5_0_0beta1.tar.xz 

user1@mas1xx-devel:~/work/mas1xx_focal_rootfs$ ls -l
合計 72
drwxr-xr-x  2 root root 4096  7月 27 03:50 bin
drwxr-xr-x  2 root root 4096  7月 29 03:01 boot
drwxr-xr-x  4 root root 4096  9月  7  2017 dev
drwxr-xr-x 81 root root 4096  7月 28 11:40 etc
drwxr-xr-x  3 root root 4096  9月  7  2017 home
drwxr-xr-x 16 root root 4096  4月 24 08:16 lib
drwxr-xr-x  2 root root 4096  9月  7  2017 media
drwxr-xr-x  7 root root 4096  5月 29 11:07 mnt
drwxr-xr-x  3 root root 4096  6月  8 09:33 opt
drwxr-xr-x  2 root root 4096  4月 12  2016 proc
drwx------  4 root root 4096  7月 28 22:59 root
drwxr-xr-x 14 root root 4096  7月  5  2019 run
drwxr-xr-x  2 root root 4096  7月 27 02:06 sbin
drwxr-xr-x  2 root root 4096  9月  7  2017 srv
drwxr-xr-x  2 root root 4096  2月  5  2016 sys
drwxrwxrwt  2 root root 4096  7月 28 22:53 tmp
drwxr-xr-x 10 root root 4096  9月  7  2017 usr
drwxr-xr-x 12 root root 4096  8月 27  2018 var
user1@mas1xx-devel:~/work/mas1xx_focal_rootfs$